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產品介紹

濺鍍靶材

By 21 10 月, 2022No Comments

我們的靶材擁有良好的晶相及均勻性,除了按規格品製作及生產外,更可配合客戶端需求,進行客製化開發及量產。

  • 靶材是半導體、光電業常用的一種濺鍍材料,材料純度依照不同應用領域的需求而有差別。
  • 靶材通常為高純度陶瓷、純金屬或合金,尺寸及構型主要根據濺鍍設備的規格而定。

目前主要靶材產品組合及規格
平面靶-純金屬靶材 Al、Cu、Cr、Mo、Nb、Ni、Si、Ti、Ta、W
平面靶-合金靶材 AlNd、AlNiLa、AlNiCuLa、AZO、ITO、MoLa、MoNb、MoW、NiAl、NiCr、Niv、NiCu、NiMo、SiAl、TiAl、ZnAl、ZnSn
圓柱靶 / 旋轉靶 Ag、Al、AlNd、Cu、Cr、ITO、Mo、MoNb、Nb、NbOx、Ni、Niv、 Si、SiAl、Sn、Ti、TiOx、Ta、W、ZnAl、ZnSn
若有其他需求,歡迎來電洽詢